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对不断增加的带宽的需求,推动了在数据中心互连和光交换机等应用中对密集光纤连接的需求。许多高密度连接需要使用精确的、紧公差的光纤对准结构来精确定位高密度光端口。

188金宝搏亚洲真人体育Optoscribe的高速激光诱导选择性蚀刻工艺为阵列图案提供了充分的3D灵活性,并能够在玻璃中创建高精度、可控的微结构。这是一种新颖的玻璃两级微结构工艺,利用聚焦超短脉冲激光在激光聚焦下诱导材料的亚表面图案。通过快速扫描玻璃内的3D形状,创建了增强的蚀刻速率区域,这样在衬底暴露于湿化学蚀刻时,辐照区域优先蚀刻。

激光诱导的选择性蚀刻与硅图案的主要区别在于其适应性,这是一个快速发展的工业的关键因素。例如,激光诱导选择性蚀刻可以在相当厚的玻璃基板上进行,例如2mm。在孔阵列的微加工过程中,制造过程也提供了对关键尺寸公差的严格控制。此外,3D控制提供了塑造孔的能力,创建喇叭形入口,以方便插入纤维。也可以在玻璃表面形成任意角度的孔,例如用于最小化背面反射的8度。

OptoArray™解决方案可用于广泛的应用,从多光纤连接器和大型阵列接口到光交换硬件,如光交叉连接(OXC)开关和波长选择开关(WSS)。

OptoArray™规范

参数 价值 笔记
孔直径d > 50μm 典型的
直径公差d托尔 ±0.5μm
玻璃厚度t 0.5 - 2毫米 标准晶圆厚度公差(TTV) 10 μm。
其他公差可提供-联系讨论
孔之间的间距 > 1.4 x d
螺距公差 ±0.5μm
耀斑类型 弯曲的,锥形
耀斑长度fl 典型0.5 x t 可以定制适合-联系讨论
θ 0度或8度 其他角度可能-联系讨论
材料 Schott Borofloat-33 其他玻璃可能包括UV熔融二氧化硅和Ultra
低膨胀熔融硅触点的探讨
产品供应配置 晶圆片或单晶模
数据图左图 孔数据图
OptoArray™
关键优势

•一流尺寸公差

•低CTE由于固体玻璃结构

•适用于高密度2D阵列

•高速制造

•孔形状和阵列配置的最大灵活性

•可与机械对齐功能集成在同一基片上

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