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对带宽不断增长的需求推动了在数据中心互连和光交换机等应用中对密集光纤连接的需求。许多这种高密度连接需要使用精确的、严格公差的光纤对准结构来精确定位高密度光端口。

188金宝搏亚洲真人体育Optoscribe的高速激光诱导选择性蚀刻工艺在阵列模式方面提供了完整的3D灵活性,并能够在玻璃中创建高精度、可控的微结构。这是一种新颖的两阶段玻璃微结构加工工艺,它使用聚焦超短脉冲激光诱导次表面材料图案,并定位在激光束的焦点上。通过快速扫描玻璃内的三维形状,增强的蚀刻速率区域被创建,这样在将基板暴露于湿化学蚀刻时,辐照区域优先蚀刻。

激光诱导选择性蚀刻与硅模式的主要区别在于其适应性,这是快速发展的工业中的一个关键因素。例如,激光诱导选择性蚀刻可以在厚得多的玻璃基板上进行,例如2mm。在微孔阵列加工过程中,该制造工艺还提供了对关键尺寸公差的严格控制。此外,3D控制提供了塑造孔的能力,创造一个喇叭入口,允许轻松插入纤维。孔洞也可以形成在玻璃表面的任意角度,例如8度通常用于最大限度地减少背反射。

OptoArray™解决方案可用于广泛的应用,从用于接口的多光纤连接器和大阵列到光交换硬件,如光交叉连接(OXC)开关和波长选择开关(WSS)。

OptoArray™规范

参数 价值 笔记
孔直径d > 50μm 典型的
直径公差d托尔 ±0.5μm
玻璃厚度t 0.5 - 2毫米 标准晶片厚度公差(TTV) 10 μm。
其他公差可能是可用的-联系讨论
孔之间的间距 > 1.4 x d
螺距公差 ±0.5μm
耀斑类型 弯曲的,锥形
耀斑长度fl 典型0.5 x t 可以定制西装联系洽谈吗
θ 0或8度 其他可能的角度-联系讨论
材料 Schott Borofloat-33 其他可能的玻璃包括UV、熔融二氧化硅和Ultra
低膨胀熔融硅接点的讨论
产品供应配置 晶圆片或单晶片
井眼数据图 井眼数据图
OptoArray™
关键优势

•最佳的尺寸公差

•由于固体玻璃结构,CTE较低

•适用于高密度2D阵列

•高速制造

•极具灵活性的孔形状和阵列配置

•可与机械对准功能集成在同一基片上

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