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不断增长的带宽需求驱动了数据中心互连和光交换机等应用对密集光纤连接的需求。许多这种高密度连接需要使用精确的、紧密容差的光纤对准结构来精确定位高密度光端口。

188金宝搏亚洲真人体育Optoscribe公司的高速激光诱导选择性蚀刻工艺提供了阵列图形的全3D灵活性,并使其能够在玻璃中创建高精度、可控的微结构。这是一种新颖的两级玻璃微结构工艺,使用聚焦的超短脉冲激光诱导聚焦于激光束焦点的亚表面材料图案。通过快速扫描玻璃内的3D形状,可以创建增强蚀刻速率的区域,这样,当将衬底暴露于湿化学蚀刻时,辐照区域优先蚀刻。

激光诱导选择蚀刻与硅图形的主要区别在于它的适应性,这在快速发展的工业中是一个关键因素。例如,激光诱导选择蚀刻可以在相当厚的玻璃基板上进行,例如2mm。在孔阵列的微加工过程中,该制造工艺还提供了对关键尺寸公差的严格控制。此外,3D控制提供了塑造孔洞的能力,创造一个喇叭的入口,使纤维易于插入。孔也可以形成任意角度的玻璃表面,如8度通常用于减少背面反射。

OptoArray™解决方案可用于广泛的应用,从多光纤连接器和大型阵列接口到光交换硬件,如光交叉连接(OXC)开关和波长选择开关(WSS)。

OptoArray™规范

参数 价值 笔记
孔直径d > 50μm 典型的
直径公差d托尔 ±0.5μm
玻璃厚度t 0.5 - 2毫米 标准晶圆厚度公差(TTV) 10 μm。
其他公差可提供-联系讨论
孔之间的间距 > 1.4 x d
螺距公差 ±0.5μm
耀斑类型 弯曲的,锥形
耀斑长度fl 典型0.5 x t 可以定制适合-联系讨论吗
θ 0或8度 其他可能的角度-接触讨论
材料 Schott Borofloat-33 其他玻璃可能包括UV熔融二氧化硅和Ultra
讨论低膨胀熔融硅的接触
产品供应配置 晶圆片或单片模
左孔数据图 孔数据图右
OptoArray™
关键优势

•一流的尺寸公差

•由于固体玻璃结构,CTE低

•适用于高密度2D阵列

•高速制造

•井眼形状和阵列配置的最大灵活性

•可在同一基片上集成机械对准功能

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